◆Совместимость с измерениями на большом/близком расстоянии
◆Влияние шероховатости поверхности обнаруженного объекта можно не учитывать.
◆Поддержка сканирования линий
◆Поддержка обнаружения электрических характеристик
◆На точность измерений не влияют окружающее освещение и температура.
◆ Высокоточные изменения смещения
◆ Уровень жидкости/уровень материала
◆ толщина мембраны
◆ Толщина покрытия
Толщина обнаружения ТГц | Лазерное измерение толщины | Спектральное конфокальное измерение толщины | |
---|---|---|---|
Под влиянием окружающей среды | Не зависит от света и температуры | подвержен температурному воздействию | подвержен температурному воздействию |
Диапазон измерения | Совместимость с измерениями на большом/близком расстоянии | Узкий диапазон измерения расстояния/толщины | Поддерживается только измерение одной точки |
Эффект плоскостности | Влияние шероховатости поверхности незначительно. | Шероховатость поверхности оказывает большее влияние на точность. | Шероховатость поверхности оказывает большее влияние на точность. |
строчное сканирование | поддерживать | не поддерживается | не поддерживается |
Обнаружение электрических характеристик | поддерживать | не поддерживается | не поддерживается |